近日，黎明院高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試項(xiàng)目，通過了國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試與評(píng)審，這標(biāo)志著極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體有了新著落。

巴豆酸,碳酸二苯酯,石墨粉,碳酸鈣,二氧化氯消毒劑

“我們承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)‘極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝’中的‘高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試’子項(xiàng)目，通過了國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試與評(píng)審。相關(guān)產(chǎn)品已提交客戶使用，市場(chǎng)應(yīng)用效果良好?！?月11日，黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司首席技術(shù)官牛學(xué)坤表示。

經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試和專家評(píng)審，專家組認(rèn)為，黎明院生產(chǎn)的高純四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品滿足國(guó)家重大專項(xiàng)/課題任務(wù)書研究?jī)?nèi)容和考核指標(biāo)規(guī)定的技術(shù)要求?！绊?xiàng)目的驗(yàn)收完成，標(biāo)志著黎明院開發(fā)的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品，能夠滿足極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體需求，也標(biāo)志著極大規(guī)模集成電路行業(yè)用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化?！?國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組專項(xiàng)辦公室責(zé)任專家馬振宇教授表示。

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牛學(xué)坤介紹說，高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必須的清洗、蝕刻氣體。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米的邁進(jìn)，其對(duì)電子氣體的純度要求越來越高。為此，黎明院借助國(guó)家科技重大專項(xiàng)平臺(tái)，突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關(guān)鍵技術(shù)，攻克了高純度四氟化碳和六氟化硫制備過程中微量雜質(zhì)的純化、分析等技術(shù)難題，制備出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫，部分雜質(zhì)含量在0.1ppm以內(nèi)。在研發(fā)過程中，黎明院共申報(bào)專利9項(xiàng)，發(fā)表研究論文6篇，編制國(guó)標(biāo)1項(xiàng)、企標(biāo)2項(xiàng)，并建成了標(biāo)準(zhǔn)化潔凈間。

“項(xiàng)目的研發(fā)成功，實(shí)現(xiàn)了含氟氣體由工業(yè)級(jí)向高純級(jí)、多品種等高性能、高附加值產(chǎn)品的轉(zhuǎn)型升級(jí)以及氟化物產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)調(diào)整，助推了黎明院高質(zhì)量發(fā)展?！迸W(xué)坤表示。

據(jù)了解，2015年，黎明院高純六氟化硫已實(shí)現(xiàn)了1000噸/年生產(chǎn)供貨能力;2018年，電子級(jí)四氟化碳產(chǎn)品建成了中試裝置，并規(guī)劃建設(shè)1000噸/年工業(yè)化裝置。

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“高純度四氟化碳和六氟化硫已在國(guó)內(nèi)集成電路企業(yè)批量使用，實(shí)現(xiàn)了部分進(jìn)口替代。下一步，黎明院將進(jìn)一步加快科技創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展步伐，開發(fā)極大規(guī)模集成電路行業(yè)所必須的其他電子特氣，為國(guó)內(nèi)極大規(guī)模集成電路行業(yè)的穩(wěn)定、健康發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)?！?牛學(xué)坤說。

來源：中國(guó)化工報(bào)

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